DISCO DFL7340 是一款性能卓越的全自动激光切割机,主要应用于半导体领域,在晶圆切割等方面表现出色。以下是其详细介绍:
激光参数:搭载的激光器波长为 1064nm,最高脉冲重复频率达 200kHz,平均功率 30W,能够实现稳定且高效的激光输出,为切割作业提供有力支持。
切割速度:最大切割速度可达 500mm/s,无论是切割 200μm 厚的硅片,还是更薄的化合物半导体材料,都能快速完成任务,可有效提升生产效率。
切割精度:XY 轴定位精度为 ±1μm,重复定位精度更是达到 ±0.5μm,能够确保切割出的线条误差极小。同时,设备配备高精度视觉对准系统,可实现 ±1μm 的对准精度,能精准确定切割位置。
材料兼容性:支持 4-12 英寸晶圆以及各类封装基板的切割,可适配硅基材料、砷化镓、氮化镓等多种半导体材料,并且对于不同厚度的材料,从 50μm 的超薄晶圆到 700μm 的厚基板,都能实现高质量切割。
操作便利性:采用直观的人机交互界面,操作流程简单易懂,还支持多种工艺参数的预设和存储,方便操作人员快速切换不同的切割任务。此外,内置的自动检测和报警系统,能够实时监测设备运行状态和切割质量,一旦出现异常情况会立即发出警报,可有效降低设备故障风险和产品不良率。